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  • 产品名称:热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石涂层设备

  • 产品型号:CY-HFCVD
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
热丝化学气相沉积(Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)拥有工艺成熟,设备简单等诸多优点,是工业上应用*多的金刚石薄膜制备方法之一。设计用于合成纳米金刚石涂层,CVD金刚石薄膜,微晶CVD金刚石涂层,石墨烯,碳纳米管(CNTs)和各种其他薄膜涂层
详情介绍:
热丝化学气相沉积(Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)拥有工艺成熟,设备简单等诸多优点,是工业上应用*多的金刚石薄膜制备方法之一。设计用于合成纳米金刚石涂层,CVD金刚石薄膜,微晶CVD金刚石涂层,石墨烯,碳纳米管(CNTs)和各种其他薄膜涂层。金刚石作为所有已知材料中*硬的物质,还有用高热导率,高弹性模量,良好的耐磨性,耐腐蚀性,较低的摩擦系数和化学稳定性,是切削的优良材料。本设备包括反应腔室、支撑系统、水路系统、气路系统以及自动化控制系统等。设备结构紧凑,布局合理,经由多年设备研发的工程师团队,反复推敲,多次实验,结合计算机辅助设计系统无数次校核、验证。使设备具有优良的沉积性能及可靠的安全性。本产品具有节能,可靠,方便,智能化为一体的优良设备。

热丝化学气相沉积产品特点:

本产品为双层不锈钢腔体式结构,结构紧凑合理;
本产品分上台架和下台架两大部分,下台架除了用于支撑反应腔室,还布置气路阀门,水路管道以及各种控制元件。上台架布置显示面板,电源器件,合理屏蔽电路干扰;
本产品**分散冷却水道布局(腔体上盖,腔体主体上下层和底板,以及热丝弹力装置等地方)。水泵,水管,智能监控流量计,水路歧管等,均为封闭式循环系统。
本产品气路组合主要由工艺气体供给系统以及真空系统,气路管道的合理分布,有效利用可使用的空间,气体流量,压力的实时监测及**控制。
本产品选用双基片式真空泵,抽气速度稳定在65m3/h.极限优良真空全压为0.5Pa,防护的等级为IP54.

热丝化学气相沉积技术指标与特性:

真空腔室

结构:圆筒形+上盖

材质:304上等不锈钢

腔体尺寸:Φ640x320mm

电源:

AC220V /三相380V 30KW

控温

低压和大电流直流电源,热丝温度*高可达2500°C。  

沉积基体表面:600℃左右

腔体壁温度: <60

控温精度:0.1 

测温系统

远红外光学测温+热电偶监测

热丝装置:

恒定张力阵列几何形状,钼丝,铜馈通,钨丝结合处理,方便调整与维护

观察窗

主观察窗φ190mm 辅观察窗φ45mm

水路系统

水冷电极、水冷腔体、水冷热丝辅助部件

总水管接口尺寸 40mm

冷却水流量:60L/MIN

真空系统

双基旋片泵+高真空阀门组合(安全阀,流量感应器,调节阀……) ,数显复合真空计,

*大抽气速度:65 m3/h

设备保压:停泵 12 小时候后,真空≤10Pa;

抽气接口 CF40    排气接口KF16

操作系统:

PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;

安全系统

报警及?;ぃ憾员?、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应?;ご胧?;完善 的逻辑程序互锁?;は低?;

占地尺寸

(主机)L1800×W1150×H1550(mm)。

整机重量

600kg


 

豫公网安备 41019702002438号

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