产品名称：近距离有机物蒸发镀膜炉

炉体结构和真空室

?    双加热器，两个温度控制器，双通道气体流量计集成在移动铝合金框架中

?    腔室由高纯度熔融石英管制成

?    石英管尺寸：11”OD / 10.8”ID×9”H

?    真空法兰由316不锈钢制成

?    外形尺寸：850（长）×745（宽）×1615（高）mm

真空法兰

?    带有一个KFD-25真空端口和两个气体出口（需要1/4"管）的顶部法兰可以手动上下滑动，轻松装卸基板和蒸发材料

?    底部法兰有一个KFD-25真空口，带两个进气口（需要1/4"管）和针阀

?    法兰由双硅胶O形圈密封，可通过机械泵实现10E-2 Torr的真空压力，通过分子泵实现10E-5 Torr（不包括真空泵，请单独订购）

?    精密防腐数字真空计是标准包装

气体流量计

控制面板上安装了两个浮子表，测量范围为：

?    16-160 mL / m

?    400 - 4000 mL / m（用于清洗目的）

加热器和样品架

?    两个短波红外灯作为加热元件，用于快速加热。

?    两个加热器之间的距离可在10 - 50 mm之间调节

?    加热器由不锈钢制成，带有水冷夹套，可减少热辐射并实现快速冷却

?    3"圆形晶圆支架内置顶部加热器，可装载基板

?    包括一个高导热AlN板（3”直径×0.5mm厚），它应放在基板的背面，使其均匀加热

温度控制器

?    两个精密数字温度控制器，30段可编程，可独立控制顶部和底部加热器

?    每个控制器都具有PID自动调谐功能，以?；ぜ尤绕髅馐芄搴捅ňδ?，以避免过热和热电偶断开

?    安装PC通信接口和软件记录温度曲线

工作温度

每个加热器的zui高温度：<=650℃

两个加热器之间的zui大温差：<=300℃取决于两个加热器之间的间距：

?    间距30mm zui大。温差：315℃加热底部

?    间距40mm zui大。温差：350℃加热底部

?    间距50mm zui大。温差：仅在加热底部395℃

加热和冷却速度

?    加热：<8oC/ s（仅加热单个加热器）

?    冷却：<10oC/ s（600 - 100oC）Max.

热电偶

两个K型热电偶（外露）分别安装在顶部和底部加热器上

工作电压

208 - 240VAC，单相，20A空气断路器

电力需求

总计2200W（每个加热器1100W）

保证

一年限制终身支持（石英管和加热灯等消耗部件不在保修范围内）