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近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉,具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部),zui大加热速率20oC/s。两个30段精密温度控制器内置,精度为+/-1oC。包括RS485端口和控制软件,允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
近距离蒸发镀膜炉产品特点:
1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷装置上。
2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片(Φ76mm×0.5mm),使得样品基片上的温度更加均匀。
3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料。
4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr,通过分子泵真空度可达10-5torr。
5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可以准确测量腔内真空度。
近距离蒸发镀膜炉技术规格:
炉体结构和真空室 |
? 双加热器,两个温度控制器,双通道气体流量计集成在移动铝合金框架中 ? 腔室由高纯度熔融石英管制成 ? 石英管尺寸:11”OD / 10.8”ID×9”H ? 真空法兰由316不锈钢制成 ? 外形尺寸:850(长)×745(宽)×1615(高)mm |
真空法兰 |
? 带有一个KFD-25真空端口和两个气体出口(需要1/4"管)的顶部法兰可以手动上下滑动,轻松装卸基板和蒸发材料 ? 底部法兰有一个KFD-25真空口,带两个进气口(需要1/4"管)和针阀 ? 法兰由双硅胶O形圈密封,可通过机械泵实现10E-2 Torr的真空压力,通过分子泵实现10E-5 Torr(不包括真空泵,请单独订购) ? 精密防腐数字真空计是标准包装 |
气体流量计 |
控制面板上安装了两个浮子表,测量范围为: ? 16-160 mL / m ? 400 - 4000 mL / m(用于清洗目的) |
加热器和样品架 |
? 两个短波红外灯作为加热元件,用于快速加热。 ? 两个加热器之间的距离可在10 - 50 mm之间调节 ? 加热器由不锈钢制成,带有水冷夹套,可减少热辐射并实现快速冷却 ? 3"圆形晶圆支架内置顶部加热器,可装载基板 ? 包括一个高导热AlN板(3”直径×0.5mm厚),它应放在基板的背面,使其均匀加热 |
温度控制器 |
? 两个精密数字温度控制器,30段可编程,可独立控制顶部和底部加热器 ? 每个控制器都具有PID自动调谐功能,以?;ぜ尤绕髅馐芄搴捅ňδ?,以避免过热和热电偶断开 ? 安装PC通信接口和软件记录温度曲线 |
工作温度 |
每个加热器的zui高温度:<=650℃ 两个加热器之间的zui大温差:<=300℃取决于两个加热器之间的间距: ? 间距30mm zui大。温差:315℃加热底部 ? 间距40mm zui大。温差:350℃加热底部 ? 间距50mm zui大。温差:仅在加热底部395℃ |
加热和冷却速度 |
? 加热:<8oC/ s(仅加热单个加热器) ? 冷却:<10oC/ s(600 - 100oC)Max. |
热电偶 |
两个K型热电偶(外露)分别安装在顶部和底部加热器上 |
工作电压 |
208 - 240VAC,单相,20A空气断路器 |
电力需求 |
总计2200W(每个加热器1100W) |
保证 |
一年限制终身支持(石英管和加热灯等消耗部件不在保修范围内) |
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