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  • 产品名称:MPCVD单晶钻石沉积设备

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
化学气相沉积法制备高品质单晶钻石,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜
详情介绍:


适合的应用:

化学气相沉积法制备高品质单晶钻石


化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜

化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜

化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和钻石膜等各种碳纳米薄膜



产品特点: 

本产品为不锈钢腔体式6kw微波等离子体设备,功率密度高;

水冷式基片台和水冷式金属反映腔,保证系统能长时间稳定工作;

基片温度以微波等离子体自加热方式达到;

真空测量仪表采用全量程真空计,可**测量本底真空和工作气体压强;

真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为1Pa),系统可自动控制沉积气压;

配备冷却水循环系统,确保装置高功率下可长时间安全稳定运行;

系统带15寸触摸屏,PLC自动控制,可设置温度或气压恒定,可保存复用多达20套工艺文件;

全自动工艺控制???,可以稳定可靠地制备高品质钻石薄膜和晶体

技术指标与特性:

项目名称

规格

配置

主控单元

 

PLC 自动程控

微波源

6kw  2.45Ghz

微波电源

微波发生器

波导

6kw

三销钉

模式转换器

6kw

 

谐振腔体

6kw

柱形水冷腔体

基台

φ70mm

电动升降

钻石生长基本参数

 

7x7mm   37

8x8mm   29

9x9mm   21

10x10mm  13

MFC(质子流量计)

5

Ch4  0-500sccm

H2   0-500sccm

N2  0-500sccm

Ar   0-500sccm

O2   0-500sccm

测温元件

 

高精度红外测温仪

真空测量

 

高精度真空计

分子泵

 

默认无/可选

氢气纯化

 

9N

水循环

 

3P水冷机



豫公网安备 41019702002438号

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