产品详情
  • 产品名称:桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪

  • 产品型号:CY-EVP195S-2S-WT
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪,设备安装有钨丝篮蒸发源,可提供*大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀
详情介绍:

本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪,设备安装有钨丝篮蒸发源,可提供*大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作,配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空,能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境;同时设备采用高罐体及水冷样品台设计,能够减少蒸发源对样品的热辐射,保证样品的表面不超温,维持在室温水平,有效防止样品被热蒸发的高温损坏,尤其适合对各种聚合物薄膜样品进行镀膜。

桌面型小型蒸发镀膜仪技术参数:

产品名称

桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EVP195S-2S-WTT高罐体tall;w水冷样品台 water

安装条件

1、使用环境温度 25℃±15℃,湿度 55%Rh±10%Rh;

2、设备供电:AC220V,50Hz,必须有良好接地;

3、额定功率:2500w;

4、设备用气:设备腔室内需充注氩气清洗,需客户自备氩气,纯

度 ≥99.99%;

5、摆放工作台尺寸要求 600mm×600mm×700mm,承重 70kg 以上;

6、摆放位置要求通风。

技术参数

1、 蒸发源数量:2个,每个蒸发源均配挡板;

2、 蒸发源电压:10V

3、 蒸发电流 0~100A 连续可调

4、 配 2 个钨舟、2个钨丝篮;

5、 不锈钢水冷旋转上置样品台,直径为100mm,旋转速度1~20rpm连续可调;

6、 样品与蒸发源的距离为 300mm ;

7、 样品台水冷接口为φ6mm快插接头,需配循环水冷机使用;

8、 真空腔体为不锈钢腔体其外径为195mm,内径为185mm,高度为350mm;

9、 配有带挡板的石英观察窗,尺寸为φ60mm

10、 真空腔体抽气接口为 KF40;

11、 进气接口为 1/4 英寸双卡套接头,默认配不锈钢微调阀以调节进气量;

12、 显示屏为7英寸彩色触摸屏;

13、 可调节蒸发电流,可设置蒸发安全电流值、安全真空值;

14、 安全?;ぃ汗?、真空过低自动切断蒸发电流;

15、 极限真空:5x10-5Pa(搭配分子泵);

16、 真空测量为电阻规真空计,其量程为:1~105Pa

注意事项

1、为充分发挥腔体的真空性能,建议搭配分子泵组使用。

2、建议选购CW3000水冷机或更好的循环水冷机

可选配件

厚监测仪

1、膜厚分辨率:0.0136?(铝)

2、膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置, 材料应力,温度和密度

3、测量速度:100ms-1s/次,可设置测量范围:500000?(铝)

4、标准传感器晶体:6MHz

5、适用晶片频率:6MHz 适用晶片尺寸:Φ14mm 安装法兰:CF35

其他配件

1、 钨舟、钨丝篮;

2、 有机蒸发源(含石英舟和钨丝发热源);

3、 蒸发源数量可选1~2组;

4、 CY-CZK103系列高性能分子泵组(含复合真空计,测量范围

10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60系列小型分子泵组(含复合真空计,测量范围10-5Pa~102Pa

VRD-4双极旋片真空泵;

5、 CW3000循环水冷机(风冷,流量10L/min)

6、 KF40真空波纹管;长度可选0.5m、1m、1.5m;KF25卡箍支架

7、 膜厚仪晶振片;

豫公网安备 41019702002438号

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