产品详情
  • 产品名称:桌面型石英腔体单靶磁控镀膜仪

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。
详情介绍:

本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。

单靶磁控镀膜仪技术参数:

桌面型单靶磁控镀膜仪

样品台

尺寸

φ100mm

加热

*高500

转速

0-20可调

磁控溅射靶

数量

2” x1

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 215mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

高纯石英

开启方式

上盖拆卸式

真空系统

机械泵

旋片泵

分子泵

涡轮分子泵

真空测量

电阻规+电离规

抽气接口

KF16

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

极限真空

1.0E-4Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

机械泵1.1L/s  分子泵600L/s

电源配置

数量

直流电源 x1

*大输出功率

直流电源150W

 

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

2kW

整机尺寸

550mm X 350mm X400mm


豫公网安备 41019702002438号

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