产品详情
  • 产品名称:桌面型偏置靶单靶磁控镀膜仪

  • 产品型号:CY-MSP300G-RB
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
单靶磁控镀膜仪配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。单靶磁控镀膜仪真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验
详情介绍:

本设备为偏置靶型单靶磁控镀膜仪,磁控靶偏置于腔体一侧,溅射范围可覆盖样品台一半,通过样品台旋转可以实现更大样品的均匀镀膜。理论*大支持样品直径为180mm。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。

偏置靶型单靶磁控镀膜仪技术参数:

CY-MSP300G-RB rotate bias) 桌面型大腔体偏置靶单靶磁控镀膜仪

样品台

尺寸

φ150mm

转速

转速0-20rpm可调

磁控溅射靶

数量

2” x1  偏置于腔体一侧

 

 

真空腔体

腔体尺寸

φ300mm X 200mm

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

下法兰

装有旋转式样品台及进出气口

真空系统

机械泵

双级旋片泵

抽气接口

KF16

分子泵

涡轮分子泵

抽气接口

KF40

真空测量

电阻规+电离规复合真空计

排气接口

KF40

极限真空

1.0E-3Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

前级泵 1.1L/s 分子泵:60L/S

电源配置

数量

直流电源 x1

*大输出功率

直流电源300W

 

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

500mm X 320mm X6200mm

整机功率

2kW

 

 

豫公网安备 41019702002438号

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