产品详情
  • 产品名称:桌面型靶下置型磁控镀膜仪

  • 产品型号:CY-MSP180S-DC-GU
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。真空腔体整体采用下置靶设计,溅射效果好,杂质污染少,能*大限度的?;ぱ?。
详情介绍:

本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。真空腔体整体采用下置靶设计,溅射效果好,杂质污染少,能*大限度的?;ぱ?。

桌面型靶下置型磁控镀膜技术参数:

CY-MSP180S-DC-GU

样品台

尺寸

φ100mm

加热

*高500

转速

0-20可调

安装方式

上置于腔体上盖,样品安装为夹持式

磁控溅射靶

数量

2” x1 下置安装与腔体下法兰

 

 

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 215mm

观察窗口

前置式 φ60mm

腔体材料

SS304

开启方式

上顶开式

真空系统

机械泵

旋片泵

抽气接口

KF16

分子泵

涡轮分子泵

抽气接口

KF40

真空测量

电阻规+电离规

排气接口

KF16

极限真空

1.0E-4Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

机械泵1.1L/s  分子泵60L/s

电源配置

数量

直流电源 x1

*大输出功率

直流电源300W

 

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

550mm X 350mm X400mm

整机功率

2kW

 

 

豫公网安备 41019702002438号

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