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  • 产品名称:PECVD-R?旋转等离子加强CVD设备

  • 产品型号:CY-PECVD-R
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
本产品为PECVD-R?旋转等离子加强CVD设备。PECVD-R?旋转等离子加强CVD设备十分适合在气氛?;さ幕肪诚铝苑勰┎牧嫌肅VD方法进行包裹和修饰。
详情介绍:

旋转PECVD 

本产品为等离子增强回转化学气相沉积系统(旋转PECVD),炉管采用变径设计,中部管径较粗且有有混料隔板,能够随着炉管的旋转将粉体或者颗粒反复混合,通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转,使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果;设备另配有等离子发生装置,采用电感耦合与炉管连接,产生的等离子能够满布炉管,有效的提高反应物活化能,降低反应温度,提高反应效率。设备配有三路质量流量计及混气装置,可用于向路管内通入多种气体,同时设备配有高性能机械泵,能够快速将炉管抽至真空;通过泵和气路的配合可以实现多种CVD工艺。旋转装置十分适合在气氛?;さ幕肪诚铝苑勰┎牧嫌肅VD方法进行包裹和修饰。

技术参数

双温区管式炉

产品型号

CY-O1200-60IIC-R

设备功率

3KW

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英异型管)

炉膛长度

440mm

加热区长

200mm+200mm

工作温度

0~1150℃

极限温度

1200℃

控温精度

±1℃

热电偶类型

K型热电偶

控温模式

30段程序控温,PID参数自整定

显示模式

高清全彩LCD触控屏

密封方式

304不锈钢真空法兰

供电电源

AC:220V 50/60Hz  

旋转速度

0~13rpm

倾斜角度

0~35°

3路质量流量计

产品型号

CY-3Z

气路数量

3路

流量计类型

质量流量计

测量范围

A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

测量精度

±1.5%

工作压差

0.1~0.5MPa

管路接口

1/4英寸卡套接头

供电

AC220V 50/60Hz

真空系统

真空泵

双极旋片泵

抽速

1.1L/s

抽气接口

KF16

泵极限真空度

10E-1Pa

供电

AC220V 50/60Hz

射频电源

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0~500W

*大反射功率

100W

射频输出接口

50Ω,N-Type,female

功率稳定度

≤5W


豫公网安备 41019702002438号

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