产品详情
  • 产品名称:碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪

  • 产品型号:TN-PEC250G-HV
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射,它也可以在高纯氩气的?;ぶ陆卸嘀掷胱哟?,碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪采用机械泵和分子泵,实现高真空。
详情介绍:

○ 产品介绍

TN-PEC250G-HV碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射,它也可以在高纯氩气的?;ぶ陆卸嘀掷胱哟?。通过更换功能套件,设备可以在多种功能间快速切换,非常适合实验室制作SEM样品使用。本仪器装有机械泵和分子泵,能够满足多种真空度要求,尤其能够实现高真空,能够有效提高镀膜质量。

○ 适用范围

实验室镀膜使用。

○ 技术参数

真空腔体
 高纯石英,钟罩状,φ250x340mm
蒸发腔体 
 高纯石英,镀罩状,带侧面开孔,尺寸φ88x150mm
等离子溅射腔体
 高纯石英,镀罩状,带侧面开孔,尺寸φ88x150mm


 等离子溅射套件 

 溅射电压1600V

*大电流50mA
靶面尺寸2英寸
工作真空10Pa~20Pa
工作气氛需通入高纯氩气


热蒸发镀膜套件

 蒸发源数量2个

*大电流100A
工作真空10^-3Pa
工作气氛不通入任何气体
样品台直径φ60mm,可旋转


 


 碳蒸发套件

 蒸发方式碳棒蒸发

*大电流160A
工作真空10^-3Pa
工作气氛不通入任何气体
真空系统
 产品型号TN-GZK103-A
分子泵涡轮分子泵
前极泵双极旋片泵
抽气速率分子泵:600L/S综合抽气性能:30分钟真空度可达:5×10E-3Pa
旋片泵:1.1L/S
极限真空5×10E-4Pa
抽气接口KF40
排气接口KF16
真空测量复合真空计
进气系统
 配有手动微调阀,接口为1/4英寸卡套接头
供电要求
 AC 220V 50Hz

○免责声明

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