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  • 产品名称:实验室多弧离子镀镀膜仪

  • 产品型号:CY-MIOP500S-2TA
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
实验室多弧离子镀镀膜仪是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上,实验室多弧离子镀镀膜仪十分适合镀硬质?;つと鏣iN等
详情介绍:

CY-MIOP500S-2TA多弧离子镀镀膜仪

多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等优点。十分适合镀硬质?;つと鏣iN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色,且膜层与基板结合牢固,故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。

设计特色

本设备配有两个多弧靶,分置于腔体两侧。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率,改善成效果,该镀膜仪还采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的安全。 


产品型号

CY-MIOP500S-2TA

真空腔体

水冷不锈钢腔体

φ500mm X 490mm(H)

前开门式,配有φ100mm石英观察窗

内置两组红外加热灯,可对腔体烘烤除气

预留多个CF接口,可安装多路膜厚仪

进气系统

质量流量计Ar气0~200sccm,

N2气0~200sccm其他流量或者气体可定制

供电要求

AC 220V 50Hz  10kW

控制方式

15英寸触控屏 组态控制软件

多弧靶

数量规格

3英寸x2

安装方式

腔体侧方对置

工作电流

0~150A

靶材厚度

max50mm,min20mm

样品

规格

行星式挂架

可悬挂样品数

每支挂架上6个挂点,共计6个挂架

转速

公转转速1~20rpm

真空系统

 

产品型号

CY-GZK103-A

分子泵

涡轮分子泵

前极泵

双极旋片泵

抽气速率

分子泵:600L/S

综合抽气性能:30分钟真空度可达:5×10E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

极限真空

5×10E-4Pa

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

真空测量

复合真空计

 

豫公网安备 41019702002438号

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