产品详情
  • 产品名称:PE-HPCVD等离子增强物理化学气相沉积

  • 产品型号:CY-PE-HPCVD
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
PE-HPCVD等离子增强物理化学气相沉积由一台双温区管式炉,一套钨丝蒸发源,一套等离子发生装置以及一套质量流量计组成。PE-HPCVD等离子增强物理化学气相沉积适用于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆。
详情介绍:

PE-HPCVD等离子增强混合物理化学气相沉积系统

本产品是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(PE-HPCVD)双温区旋转管式炉系统。该设备包括一台双温区管式炉,一套钨丝蒸发源,一套等离子发生装置以及一套质量流量计系统。其工作原理是通过蒸发源将反应物在进气端蒸发后通过气流载入管式炉温区内进行CVD反应,同时通过等离子增强促进反应的发生,适用于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆,如制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等。

双温区管式炉

产品型号

CY-O1200-50IIT

炉管材质

高纯石英

炉管直径

50mm

炉管长度

1200mm

炉膛长度

440mm

加热区长

200mm+200mm

工作温度

0~1100℃

控温精度

±1℃

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

高清全彩LCD触控屏

密封方式

304不锈钢真空法兰

供电电源

AC:220V 50/60Hz  2.5kW

RF输出系统

功率范围

0~300W可调

工作频率

13.56MHz+0.005%

工作模式

连续输出

匹配阻抗模式

能够匹配,起辉均匀布满炉管

功率稳定度

≤2W

正常工作反射功率

≤3W

放大反射功率

≤70W

谐波分量

≤-50dBc

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

供电电压/频率

单相交流(187V~153V) 频率50/60Hz

控制模式

内控/PLC 模拟量/RS232/485通讯

电源?;ど柚?/span>

DC过流?;?,功放过温?;?,反射功率?;?/span>

冷却方式

强制风冷

起辉长度

在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光能布满炉管

蒸发舟

工作温度

1300℃

蒸发源

钨丝篮,可选配锥形氧化铝坩埚

热电偶

S型热电偶

工作电流

≤30A 

*大功率

500W

流量计

四路质子流量计

流量范围

MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm

MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm

分别对应气体H2、 CH4、 N2、 Ar、

测量精度

±1.5%F.S

重复精度

±0.2%FS

线性精度

±1%F.S.

响应时间

≤4s

工作压力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制

进气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

出气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

连接方式

双卡套接头

工作温度

5~45℃

气体预混

配气体预混装置

真空系

 

产品型号

CY-GZK103-A

分子泵

涡轮分子泵

前极泵

双极旋片泵

抽气速率

分子泵:600L/S

综合抽气性能:30分钟真空度可达:5×10E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

极限真空

5×10E-4Pa

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

真空测量

复合真空计

 

豫公网安备 41019702002438号

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