产品详情
  • 产品名称:多弧离子镀膜仪

  • 产品型号:CY-MIOP400S-2TA
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
本设备为多弧离子镀膜设备。多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。本设备配有两个多弧靶,分置于腔体两侧。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率,改善成效果 该镀膜仪还采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的安全。
详情介绍:

功能特点:

离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等优点。十分适合镀硬质?;つと?/span>TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色,且膜层与基板结合牢固,故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。


技术规格:

多弧离子镀膜仪

样品台

尺寸

行星式样品台,外径305mm,四周六工位

工件可悬挂于各工位的支撑棒上

外周转速1~20rpm可调

多弧离子靶

数量

φ84mm X 2

真空腔体

腔体尺寸

φ300mm X 400mm 

观察窗口

前置φ100mm含遮光片

 

腔体材料

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚控制

晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪

真空系统

前级泵

双极旋片泵

抽气接口

KF16

 

次级泵

涡轮分子泵

抽气接口

CF160

 

真空测量

电阻+电离

复合真空规

排气速率

机械泵1.1L/s

分子泵 600L/s

 

极限真空

1.0E-5Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

 

抽气速率

旋片泵:1.1L/S

控制系统

自动控制

操作界面:触控屏+操作面板

 

其他

供电电压

AC380V,50Hz

整机尺寸

1000mm X 800mm X 1500mm

 

整机功率

5kW

整机重量

350kg


豫公网安备 41019702002438号

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