产品详情
  • 产品名称:等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪

  • 产品型号:CY-EVS180S-HV
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化,在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能;本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa,可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小,节省空间,能够置于试验台上使用,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构选用。
详情介绍:

离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围:

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作,以及非导体材料试验电极的制作等。


离子溅射和蒸发二合一镀膜仪技术参数:

供电电压

AC220V,60Hz

*大功率

1200W

样品台

直径φ65mm;

与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm

真空腔体

材质:304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

*高温度

1700℃

热电偶

B型热电偶

真空计

电子式真空计

真空系统

前级泵:浦发MVP030 无油泵   抽速30L/min

次级泵:莱宝TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

真空接口

KF40

进气接口

1/4卡套接头

整机尺寸

500x350x400mm





豫公网安备 41019702002438号

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