产品详情
  • 产品名称:多源高真空蒸发镀膜仪

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
本设备为多源高真空蒸发镀膜仪,设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不?;》叛?、完全?;炔僮?。
详情介绍:

本设备的蒸发源共两组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可*大支持300A的大电流,加热温度*高可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的安全。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越,是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。

多源高真空蒸发镀膜仪

样品台

尺寸

*大支持φ150mm样品

高度

上下70mm可调

蒸发源

数量

钨舟x2

 

 

真空腔体

腔体尺寸

φ300x400mm

观察窗口

前置φ100mm含遮光片

 

腔体材料

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚控制

晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪

真空系统

前级泵

双极旋片泵

抽气接口

KF16

 

次级泵

涡轮分子泵

抽气接口

CF160

 

真空测量

电阻+电离

复合真空规

排气速率

机械泵1.1L/s

分子泵 600L/s

 

极限真空

1.0E-5Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

 

抽气速率

旋片泵:1.1L/S

流量计

一路质量流量计 500sccm Ar气

控制系统

PLC自动控制

操作界面:触控屏+操作面板

 

其他

供电电压

AC380V,50Hz

整机尺寸

1000mm X 800mm X 1500mm

 

整机功率

5kW

整机重量

350kg

豫公网安备 41019702002438号

XXXX18一20岁HD第一次,日韩午夜理论免费TV影院,天天躁狠狠躁狠狠躁夜夜躁,网禁拗女稀缺资源在线观看