产品详情
  • 产品名称:全自动超声波气氛加热匀胶机

  • 产品型号:CY-SPC-HUA6
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
CY-SPC-HUA6匀胶机是一种小型、灵活的旋转匀胶设备,可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上,进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。也可以单独进行旋涂操作。腔体内布有加热元件,可在匀胶后进行烤胶操作。产品带有两路浮子流量计控制的气路,可将惰性气体通入腔体内,在匀胶时?;そ阂翰皇湛掌械钠逵跋?。 此款匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺、制版的表面涂覆??稍冉?大圆晶尺寸为6英寸,转速可达10000rpm,加速度可达5000rpm;具有转速稳定,启动迅速,操作方便等优点,并能保证匀胶厚度的一致性和均匀性,是一款性能优良的产品。
详情介绍:

产品特征

1. 采用直流无刷电机,单片机控制

2. 高清晰触摸屏控制

3. 可进行单步多步匀胶操作,可存储五种程序,每种程序可设置五步操作

4. 防堵胶设计

5. 铝合金腔体,坚固耐用

6. 带有超声波,气氛,加热等多种辅助功能,为匀胶研究进行多种辅助

 

产品参数

产品名称

超声波辅助气氛匀胶机

圆晶尺寸

6英寸

旋转速度

100~10000rpm可调

旋转加速度

100~5000rpm/s可调

单次*长匀胶时间

3000s

匀胶腔体尺寸

Φ200mm* 90mm

电压

220V 50Hz

功率

400W

加热温度

0-100℃

质保时间

易损件除外,1年,终身技术支持

 

超声波系统

雾化头材质

钛合金

频率

40kHz

功率

130W

流量

0.55mL/s

微粒直径

25um

雾化头类型

锥型

雾化头重量

0.3kg

超声波电源尺寸

315*312*135mm

超声波电源重量

5kg

 

注射泵

流量范围

0.001uL/min-43.349mL/min

掉电记忆工能

保存设置参数,重新上电后,无需设置

适用进样器规格

10uL-1000uL

适用注射器规格

1mL-60mL

线速度范围

5um/min-65um/min

线速度调节分辨率

5um/min

*大行程

140mm

行程分辨率

0.156um

额定线性推力

>90N

 

流量计

控制气体种类

2种

气体流速

16-160mL/min

豫公网安备 41019702002438号

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