产品详情
  • 产品名称:净化型匀胶机

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶; 是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备?。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作。
详情介绍:

设备特点:

1、带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止

   匀胶过程中的杂质污染。

2、 设置有LED照明灯,可程控照明,非常方便日常操作。

3、可设置时间--转速曲线,程序控制匀胶工艺

4、7英寸液晶显示屏,操作简单易学无需专业学习

主要技术参数:

匀胶时间:1-99秒 
匀胶转数:0-8000转/分 
净化效果:100级(美国联邦标准) 
操作区风速:0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态:垂直层流() 
适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶 
外形尺寸:650x750x1620mm 
外体颜色:白色 
控制范围和精度:转速控制范围为:500-8000转,精度为±3% 
时间控制范围为:1-99秒,精度为±5% 
转速调整采用PID调节,精度。 
转速查看智能化:可自动识别哪个电机开或关,自动转换到开启的电机上??捎柘妊《?,也可在运行中随时查看任一电机的转速。

豫公网安备 41019702002438号

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