产品详情
  • 产品名称:单温区旋转PECVD石墨烯制备系统

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
单温区旋转PECVD,安装有真空自动投料器,炉管尾部预留KF40接口可以连接收料罐。投料器采用螺杆进料,可以以额定的速率将粉料送入炉管,投料速率可通过调节转速来更改??墒迪衷谄毡;さ幕肪诚铝苑勰┎牧嫌肞ECVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛?;せ肪诚露源砗玫牧戏劢惺占?。 设备配有100W频率13.56MHz的视频电源。能够在真空中产生等离子体。高能等离子体能够活化样品表面,有效的增强反应效果,提高反应速率,这种辅助方法广泛用于石墨烯制备,颗粒包覆等科学实验上。 本设备特别适合颗粒型样品实验,通过机械传动能够控制工作管360°不间断连续旋转,转速可调,使得管内物料不断的被搅拌混合,充分与气体和等离子体接触,使样品的反应更加均匀稳定。
详情介绍:

射频电源

 

输出功率

150W

 

输出精度

±1%

 

射频频率

13.56MHz

 

射频稳定度

±0.005%

 

冷却方式

风冷

1200温区管式炉

供电电压

AC220V,50Hz

 

*大功率

2KW

 

加热温区

单个温区200mm

 

工作温度

*高1200℃,连续运行温度应≤1100℃

 

控温精度

±1℃

 

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条

三温区独立控制,带有过热和断偶?;?/span>

 

炉管材质

高纯石英

 

炉管尺寸

φ50x800mm

 

密封方式

真空不锈钢法兰、KF16法兰

 

可调转速

0-20rpm

 

倾斜角度

0-15°

 

真空泵

旋片机械泵

 

极限真空度

1.0E-1Pa

 

进料方式

真空漏斗加螺杆进料

豫公网安备 41019702002438号

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