产品详情
  • 产品名称:双靶等离子溅射镀膜仪(增强型)

  • 产品型号:CY-PSP180G-2TA-RSH
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
本型号小型等离子溅射仪,采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台,能够有效的提升镀膜的均匀性。(本设备配有旋转加热样品台,可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力)该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。设备体积小巧造型美观,是实验室镀膜试验的*佳选择。
详情介绍:

技术参数

样品台

尺寸

100mm

旋转速度

1~20rpm可调

加热温度

≤500℃            

控温精度

±1℃   PID控温 

等离子溅射靶

数量

2英寸x2

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 210mm    

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

上下盖材质

304不锈钢

抽气接口

KF16

进气接口

1/4英寸卡套接头

电源配置

数量

直流电源x1

输出功率

*大150W

溅射电源

1200V

*大溅射电流

50mA

真空系统

真空泵类型

双极旋片真空泵

抽气接口

KF16

排气接口

KF16

抽气速率

1.1L/s(4m3/h)

极限真空度

≥0.1Pa

真空测量

电阻真空规

其他

供电电源

AC 220V  50Hz

整机功率

2kW

整机尺寸

500mm X 320mm X470mm

整机重量

30kg


豫公网安备 41019702002438号

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