产品详情
  • 产品名称:双温区管式炉

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
双温区管式炉设备由双温区管式炉、温控蒸发器、湿度监测器三部分组成。温控蒸发器和湿度监测器的组合可以持续产生符合试验配比要求的水蒸气,即通过观察湿度监测器的示数,相应的调节温控蒸发器的加热速率即可调节水蒸气产生速率。双温区管式炉若再配合三路浮子流量计即可实现对通入气体成份和湿度的准确控制,适用于CVD工艺中的液体源和化学前体输送。
详情介绍:

该双温区真空管式炉不仅可以抽真空,也可以通?;ば云???羰铰沤峁褂欣诼懿鹦逗凸鄄煳锪献霸?,操作简单。透明石英管腔体可以直观的看到样品的烧结状态。本管式炉炉管水平穿过炉膛,加热元件呈四周均匀分布,温场均匀,炉管内部和炉膛之间的内外温差可控制在3度左右。炉体设计有缓冲上盖支撑结构让操作时可安全开启。

该款双温区真空管式炉的组合主要适用于需要控制反应湿度的CVD试验和反应。

双温区管式炉技术参数:

项目

明细

双温区管式炉

供电电压

AC110V;60Hz

工作温度

1100℃

加热速率

建议10/min

热电偶类型

B型热电偶

炉管尺寸

 φ80OD)×φ74ID)×1000Lmm

炉管材料

高纯石英

密封法兰

带有1/4英寸的气体接口和真空接口

加热温区

200mm+200mm

温度控制

1) PID全自动控制加热速率,冷却速率以及保温时间

2) PID控制超温?;ず投膛急;?/span>

3) 超温?;ぴ诒ňδ苁垢蒙璞缚稍谖奕丝垂艿那榭鱿略诵?/span>

4) 温度精度在±1(即显示的温度和实际温度差)

加热元件

电炉丝

蒸发器

容量

300mL

加热套工作温度

250℃

功能

有精密可编程温度控制器控制;

容器上有两个SS针阀和一个压力表

湿度监测器

安装方式

KF25适配器连接至加工管法兰

测量范围

0-100%RH,1.5%FS精度,或-60°~+60°DP

测量精度

±0.3°

使用方法

调节蒸发器水内温度和H2气体流量以达到所需湿度水平

三路防腐浮子流量计

阀门类型

不锈钢针阀

管道正常情况

关闭

气体方式

3通道

连接尺寸

1/4”

压力范围

-0.1~0.15Mpa

管芯材质

304不锈钢

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