产品详情
  • 产品名称:单室磁控溅射镀膜仪

  • 产品型号:CY-SC
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
单室磁控溅射镀膜仪主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。单室磁控溅射镀膜仪可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
详情介绍:

单室磁控溅射镀膜仪设备用途:

用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备??晒惴河τ糜诖笞ㄔ盒?、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。

单室磁控溅射镀膜仪技术参数:

真空室

圆型真空室,尺寸? 450×50mm

真空系统配置

复合分子泵、机械泵、闸板阀

极限压力

6.67*10-5 Pa (经烘烤除气后)

恢复真空时间

40 分钟可达到6 .6*10-4 Pa 。(系统短时间暴露大气并充入干燥氮气后开始抽气)

磁控靶组件

永磁靶三套;靶材尺寸?60mm(其中一个可溅射磁性材料);各靶射频滩射和直流裁射兼容;靶内水冷;三个靶可共同折向上面的样品中心;靶与样品距离 90~110mm可调;当直接向上溅射时,靶与样品距离40~80mm可调

基片水冷加热公转台

基片结构

基片加热与水冷独立工作,取下加热炉可以换上水冷基片台

样品尺寸

?30mm

运动方式

基片可连续回转,转速 5~10 转/分

加热

基片加热*高温度600±1

基片负偏压

200V

气路系统

控制器 2

计算机控制系统

控制样品转动,挡板开关,靶位确认等

可选配件6工位基片加热公转台

拆下单基片水冷加热台可以换上该转台??赏狈胖?/span>630mm的基片;6个工位中,其中一个工位安装加热炉,其余工位为自然冷却基片台;基片加热*高温度600 ±1

设备占地面积

主机

I300×800mm2

电控柜

70×700m2

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