产品详情
  • 产品名称:紧凑型等离子清洗机

  • 产品型号:CY-CP
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
紧凑型等离子清洗机带有数字真空传感器和显示器,以及铰链门。适用于各种气体对2英寸以下晶圆片的纳米级有机污染物进行清洗和去除。在高射频功率下,有机去除率zui高约为10nm /min。紧凑型等离子清洗机是一种较好的单晶基材涂装前预清洁的工具,可达到较好的涂膜质量。
详情介绍:

紧凑型等离子清洗机主要特点:

1.使用各种气体清洗和去除晶片上的纳米级有机污染物,至多可容纳2"。
2.涂层前预清洗单晶基板的优良工具,可获得更好的薄膜质量。
3.铰链式门,便于样品装载。
4.3"直径石英腔室,适用于清洁2”晶圆,可选配石英舟。
5.石英室内的可移动石英管易于清洁和更换。

紧凑型等离子清洗机技术参数:

射频功率

射频功率(线圈上施加的高压和高频电流)可在三个级别调节:

低设置

680V 

10 mA 

7 W

中等设置

700V 

15 mA 

11 W

高设置

720V 

25 mA 

18 W


等离子室

?3"直径×6.5"长的石英室

?700 mL容量

?高纯度石英室比玻璃具有更长的使用寿命

真空计和显示器

?Stinger压力表安装在铰链门上。

?1/8”NPT针阀,可定性控制气体流量和腔室压力。

?1/8”NPT三通阀,可快速切换出气体,隔离腔室和排气。

真空泵

包括一个双级旋片式真空泵

输入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,单相

工作气体

?可以选择许多惰性气体进行等离子体清洁,例如N2,Ar,空气和混合气体取决于将要处理的材料类型。

?可以使用<5%H2混合惰性气体

?等离子清洁器不得使用易燃气体。

整体尺寸


净重

40磅

保证

一年有限保修,终身支持(耐热玻璃室无保修)

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