产品详情
  • 产品名称:耐腐蚀柜式匀胶机

  • 产品型号:CY-S-PC
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
CY-S-PC耐腐蚀柜式匀胶机采用全PP耐腐蚀全柜式设计,满足工业级别手动匀胶需求,配备自动点胶功能确保了匀胶和点胶过程中的重复性。耐腐蚀柜式匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺
详情介绍:

CY-S-PC柜式匀胶机产品特点:

1. 耐腐蚀PP全柜式独立匀胶台

2.匀胶机底部带废胶收集,顶部带抽风功能

3.可升级自动点胶功能,适合工业化生产

4.集成触摸屏控制,上下移动式透明观察窗

5.使用伺服电机系统,性能稳定,满足工业要求

CY-S-PC柜式匀胶机产品参数:

1.旋涂程序:至多存100组程序,每组100步,每个步骤可**到0.1

2.转动速度:0-5000rpm(更高速可?。?,考虑重片或大片旋涂safety限定为5000rpm

3.旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可?。?,考虑重片或大片旋涂safety限定为10000rpm/s

4.马达旋涂转速稳定性能误差:< ±1rpm

5.转速调节精度和重复性:1rpm

6.工艺时间设定: 0-3000 sec/step,时间设置精度:0.1sec

7.支持晶圆尺寸25px-300mm12“圆晶)

8.旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

9..可配备多路自动点胶功能,点胶流速0.006-990ml/min可调

10.标配三种规格真空载物盘,其它尺寸可定制设计

11.可配备多路自动点胶功能,点胶流速0.006-990ml/min可调

12.标配三种规格真空载物盘,其它尺寸可定制设计

13.外型尺寸:1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)

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