产品详情
  • 产品名称:大功率程控伺服匀胶机

  • 产品型号:CY-HP-PC-S
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
CY-HP-PC-S大功率程控伺服匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现在价值百万美元的设备上才可能达到的稳定性和均匀性,大功率程控伺服匀胶机能够处理12寸以内的圆晶基片。
详情介绍:

大功率程控伺服匀胶机主要特点:

机身采用不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;

工业级别400瓦伺服电机系统,采用于trCYk设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;

可达到50000rpm/s的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。

大功率程控伺服匀胶机技术参数:

旋涂程序:可以至多存储100组程序,每组100步,每个步骤可**到0.1秒

转动速度:0-5000rpm(更高速可?。?,考虑重片或大片旋涂safety限定为5000rpm

旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可?。?,考虑重片或大片旋涂safety限定为10000rpm/s

马达旋涂转速稳定性能误差:<±1rpm

转速调节精度和重复性:1rpm

工艺时间设定:0-3000 sec/step,时间设置精度:0.1sec

支持wafer尺寸25px-300mm(12''圆晶)

旋涂作业均匀性:<±3%在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

CY-HP-PC-S大功率程伺服匀胶机优点:

内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。

7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。

Telon ®/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制。

采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。

排风和抽气系统位于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。

透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

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