产品详情
  • 产品名称:净化型匀胶机

  • 产品型号:CY-GKF411
  • 产品厂商:成越科仪
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此净化型匀胶机进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶;是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备?。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作。
详情介绍:


净化型匀胶机特点:

1、带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止

   匀胶过程中的杂质污染。

2、 设置有LED照明灯,可程控照明,非常方便日常操作。

3、可设置时间--转速曲线,程序控制匀胶工艺

4、7英寸液晶显示屏,操作简单易学无需专业学习

5、采用无刷伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
6、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈,便于清洗。
7、排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
8、透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效

     隔绝有毒气味的散发。

9、前面板设置有电动玻璃屏升降按钮,可电动升降前挡玻璃板。

主要技术参数:

匀胶时间:1-99秒 
匀胶转数:0-8000转/分 
净化效果:100级(美国联邦标准) 
操作区风速:0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态:垂直层流() 
适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶 
外形尺寸:左右宽800mm;上下高1700mm;前后深680mm 
壳体颜色:白色 
控制范围和精度:转速控制范围为:500-8000转,精度为±3% 
时间控制范围为:1-99秒,精度为±5% 
转速调整采用PID调节,精度。 
转速查看智能化:可自动识别哪个电机开或关,自动转换到开启的电机上??捎柘妊《?,也可在运行中随时查看任一电机的转速。

豫公网安备 41019702002438号

XXXX18一20岁HD第一次,日韩午夜理论免费TV影院,天天躁狠狠躁狠狠躁夜夜躁,网禁拗女稀缺资源在线观看